《KBTEM-OMO》
开放式股份公司
 
步进光刻

 

      

  • 固体光源
  • 设计标准:0.8, 0.35 微米
  • 自动比例缩放
  • 双面对准
  • 晶圆直径200,150,100毫米

 

掩膜版图形生成和检查设备

半导体晶圆上图形生成和检查设备

    面具对准器
    步进光刻
    晶圆缺陷检查
    检查和测量