《KBTEM-OMO》
开放式股份公司
 
晶圆缺陷检查

 

      

  • 带掩膜版自动检查微观和宏观缺陷
  • 无掩膜版情况下检查引入缺陷
  • 分辨率高
  • 低拥有成本

 

掩膜版图形生成和检查设备

半导体晶圆上图形生成和检查设备

    面具对准器
    步进光刻
    晶圆缺陷检查
    检查和测量