《KBTEM-OMO》
开放式股份公司
 
掩膜版图形生成和检查设备 掩膜版图形生成和检查设备

 

掩膜版图形生成并检查设备包括:

  • 图像生成器
  • 转换中继器
  • 掩膜版版图坐标和微观尺寸检查设备

 

从零部件到整机,依靠多年产研经验及先进技术精心打造

整套掩膜版制造设备具备较高的竞争优势:

  • 与设备系统坐标高度兼容性
  • 与坐标移动控制算法相同
  • 统一方法建立补偿坐标系
  • 用于图像生成和版图检查的数据转换统一系统
  • 生成版图错误数据和错误类型时,统一数据格式
  • 最大化统一管理系统

掩膜版图形生成和检查设备

    无掩膜版光刻
    图形制作
    掩膜版检查
    掩膜版修复

半导体晶圆上图形生成和检查设备

 

新闻事件

 
2018年11月5日至10日中国国际进口博览会

中国国际进口博览会

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